匿名2018.06.10 回答

這要看你的曝光機的精密度，範圍比較大的在2um左右吧，極限肯定要比這個小

匿名2012.10.18 回答

奈米尺度你指的是多大？

一般而言，小於1微米就可以成為奈米尺度。現在光學手段的光刻技術（193 nm光刻機）做到22 nm以下沒有問題，看看intel的cpu產品就是最好的例子，但是這種光刻機價格十分昂貴。還有極紫外光刻（10 nm-14 nm光源）也是製備10 nm左右圖形的選擇方案之一。