請教EPI是什麼工藝 ？

跟LPCVD 差不多，它是在高溫1130度的密封容器內，通入特氣（SIHCL3）+H2 在SUB襯底表面生長一層單晶矽的過程當然，也有很多外延缺陷，最常用的QC專案有TVG（厚度） ，RVG（表面電阻）， ParticleEpi_wafer...