光阻的特性
正型光阻劑及負型光阻劑主要是應用在LED晶片製造的金屬電極蒸鍍Lift-off製程中,由於LED電極所使用的金屬材料不易經由蝕刻的方式製作電路圖形,所以利用拔起(Lift-off)微影製程,得到突起的(Overhang)光阻圖形,使金屬在蒸...
正型光阻劑及負型光阻劑主要是應用在LED晶片製造的金屬電極蒸鍍Lift-off製程中,由於LED電極所使用的金屬材料不易經由蝕刻的方式製作電路圖形,所以利用拔起(Lift-off)微影製程,得到突起的(Overhang)光阻圖形,使金屬在蒸...