夢夢夢2016.10.25 回答

3）裝置組成

裝置組成：清洗裝置主體、移載機械臂、排風系統、電控及操作面板等組成，裝置工藝流向採用“右進左出”。

4）工藝流程

a）工藝流程

－＞1# 自動上料

－＞2# 超聲鹼洗－＞3# 超聲鹼洗－＞4# QDR清洗

－＞5# 超聲漂洗－＞6# 超聲漂洗

－＞7# 溢流清洗（DI水）

－＞8# 單晶絨面處理 －＞9# 單晶絨面處理 －＞10# QDR清洗 （DI水）

－＞11# 單晶絨面處理 －＞12# 單晶絨面處理 －＞13# QDR清洗 （DI水）

－＞13#、14# 之間風淋（Air）

－＞14# 溢流清洗（DI水）

－＞14#、15# 之間風淋（Air）

－＞15# 溢流清洗（DI水）

－＞16# HCL處理－＞17# HCL處理

－＞18# QDR清洗 （DI水）－＞19# QDR清洗 （DI水）

－＞20# HF 處理

－＞21# QDR清洗 （DI水）－＞22# 溢流清洗（DI水）－＞23# 溢流清洗（DI水）

－＞24# 自動下料

痛的記憶2015.03.30 回答

搜一下：一，怎樣對矽平面工藝中的單晶矽片進行清洗，以去除其表面的油脂和金屬離子