華螢科技 2022-01-06

手動：指的是對準的調節方式，是透過手調旋鈕改變它的X軸，Y軸和thita角度來完成對準，對準精度可想而知不高了；

光刻（photolithography）工藝是將掩膜版（光刻版）上的幾何圖形轉移到晶圓表面的光刻膠上。首先光刻膠處理裝置把光刻膠旋塗到晶圓表面，再經過分步重複曝光和顯影處理之後，在晶圓上形成需要的圖形。

通常以一個製程所需要經過掩膜數量來表示這個製程的難易。根據曝光方式不同，光刻可分為接觸式、接近式和投影式；根據光刻面數的不同，有單面對準光刻和雙面對準光刻；根據光刻膠型別不同，有薄膠光刻和厚膠光刻。而光刻機本身按照應用可以分為幾類，用於製造晶片的光刻機，用於封裝的光刻機和應用於LED製造領域的投影光刻機。